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泰藝電子(Taitien)推出“石英膜厚控制晶片”
2012.09.13

因應市場需求推出石英膜厚控制晶片(Quartz Thickness-Monitor Crystal),應用於膜厚監測器與鍍膜控制器。憑藉逾35年的石英元件開發製造經驗,泰藝電子在自石英生長、晶片切割至電極鍍膜的石英晶體生產技術上垂直整合,實現了革命性的產業突破。隨著電子元件或光學元件微小型化趨勢的不斷發展,各式生產技術所要求之薄膜沉積技術的重要性也愈加顯著,石英膜厚控制晶片即為一關鍵零組件。

泰藝電子目前推出5MHz & 6MHz AT-cut crystal 石英膜厚控制晶片,有金、銀、合金三種電極供客戶選擇,適用於絕大部分光學、真空鍍膜、PVD、ALD以及薄膜沉積應用,同時也可使用於各大真空鍍膜設備,例如Inficon™、Ulvac™或Balzers™等品牌鍍膜控制器。